摘要：本实用新型涉及一种蒸发镀膜仪，包括机架，所述机架上固定有真空室，所述真空室内顶部设置有基片台、内底部对应于基片台的下方位置设置有蒸发源，所述真空室外顶部设置有∩连接于基片台并用于驱动基片台匀速∑ 旋转的旋转电机。本实用新型提供的蒸发镀膜仪，将待镀工件安装在⊙基片台，将待蒸发镀膜的材料放在蒸发坩埚里，启动旋转ㄨ电机工作，基片台能够匀速转动，保证蒸发材料均布在基片表面，镀膜均匀，镀膜品质高。
- 专利类型实用新型
- 申请人合肥科晶材料技术有限公司;
- 发明人邾根祥;方辉;江晓平;朱沫浥;王卫;
- 地址230031 安徽省合肥市长江西路669号█华源实业园
- 申请号CN201620521609.8
- 申请时间2016年06月01日
- 申请公布号CN205821439U
- 申请公布时▼间2016年12月21日
- 分类号C23C14/26(2006.01)I;
