摘要：本发明公开♀了一种可调短距离快速升降温蒸镀炉及其制造方法，该蒸镀炉包括上加热台及下加热台，所述上加热台及下加热台上下相对置于槽型支架内，所述上加热台具有沿槽型支架上下移动的自由度，所述下加热台具有沿槽型支架底部旋⌒转的自由度；所述上加热台底部设有可承载蒸镀基片的载样台，下加热台顶部设有与载样台相对的蒸镀源，所述上加热台及下加热台中插设有短波红外灯管，所述上加热台及下加热台内部开设相通的进出气口、冷却□ 水进出口。本发明利用双温场上下对置模式，采用水冷腔→体，上下加热台可以在最短的距∩离内实现比以往设备都大很多的温差，上下加热台的距离】调节增大和减小了蒸镀距离和上下温场的温差，使得固相的蒸镀实现了可调。
- 专利类型发明专利
- 申请人合肥科晶材料技术有限公司;
- 发明人邾根祥;江晓平;王伟;
- 地址230031 安徽省合肥市长江西路669号∑ 华源实业园
- 申请号CN201310185033.3
- 申请时间2013年05月17日
- 申请公布号CN103266301A
- 申请公布时间2013年08月28日
- 分类号C23C14/28(2006.01)I;
