摘要：一种第二代高温超导带材中超导层的连续化快速激光镀膜方法，通过超导靶材沿x-y轴二维进动扫描的方法使靶材整个表面都得到利用，并可使激光蒸发镀膜过程能够稳定持续的进行下去。通过激光斑点沿带材运动方向扫描的办法增加了沿带材运动方向的镀膜区间。通过在加热器上方的带辊上多次缠绕带材的办法，增加了垂直于带材运∞动方向的镀膜区宽度。充分地将已蒸发物质最大限度地收集到了金属基带上，有效提高了带材制备速度、增加了靶材及已蒸发物质的利用率、大大提高了生产效率、降低※了带材制造成本。从而解决了适合于大规模工业化生产的第二代高温超导带材超导层快速镀卐膜问题。
- 专利类型发明专利
- 申请人上海超导科技股份有限公司;
- 发明人李贻杰;
- 地址200080 上海市虹口区四川北路1717号2312室
- 申请号CN201110367810.7
- 申请时间2011年11月18日
- 申请公布号CN102409298A
- 申请公布时间2012年04月11日
- 分类号C23C14/28(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;
