摘要：本发明提供了一种高致⊙密度AZO靶材的制备方法及用该靶材制备具有良好的光电性能AZO透明导电薄膜的方法，包括以下步骤：在介质中加入ZnO及Al2O3球磨，使其充分混合；将球○磨后的样品充分干燥，加入聚乙烯醇造粒，然后用粉末压片机压制成型；用激光脉冲沉积技术（PLD）将靶材沉积到普通载玻片上。本发明所使用的原料廉价并且整个过程不用考虑气体成分的影响，工艺简单，制备的AZO透明导电薄膜具有低的电阻率、高的可见光透过率以及高的红外反射率，可满足□低辐射镀膜玻璃和平板显示所用镀膜玻璃的要求。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;
- 发明人王新华;叶静;严密;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖区浙ㄨ大路38号
- 申请号CN201410105233.8
- 申请时间2014年03月20日
- 申请公布号∮CN103882384B
- 申请公布时间2016年06月15日
- 分类号C23C14/28(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;
