摘要：本发明提供的一种多样品单通道自动切换进样系统，包括直线丝杠传动机构与行星齿轮式转动切换机构；一种使用上述多样品单通道自动切换进样系统的进样方法，包括利用直线丝杠传动机构中的推送杆，将行星齿轮式转动切换机构中的各种样品推送入工作区域。本发明结构简单、使用方便，能够实现多样品的单个有序进出切换，可实现多层沉积薄膜的一次性试验，无需多次打开实验设备，操作快速稳定，并有效的避免了污染的产生。
- 专利类型发明专利
- 申请人合肥科晶材料技术有限公司;
- 发明人朱沫浥;王伟;邾根祥;江晓平;王卫;
- 地址230031 安徽省合肥市长江西路669号华源实业园
- 申请号CN201610396132.X
- 申请时间2016年06月07日
- 申请公布号CN105911303A
- 申请公布时间2016年08月31日
- 分类号G01N35/10(2006.01)I;
