摘要：本发明提出了一种磁悬浮分子泵径向振动控制方法，该控制方法可以对磁悬浮分子泵转子的径向振动实现良好的控制，保证磁悬浮分子泵稳◤定运行。该方法通过锤击试验和正弦扫频试验获得磁悬浮分子泵转子的叶片峰振动频率和转子挠性峰振动频率，并据此设计叶片峰陷波滤波器和转子挠性峰陷波滤波器。该控制方法利用转速检测装置检测转子转速，利用转子位移测量装置检测转子振动情况，并据此利用上述叶片峰陷波滤波器和挠性峰陷波滤波器对转子ぷ径向振动进行抑制。本发明提出的磁悬浮分子泵径向振动控制方法可以自∩动辨识磁悬浮分子泵转子挠性峰频率和叶轮叶片峰频率，并据此◤调整陷波滤波器参数抑制转子的径向振动，具有自适应性强、鲁棒◣性好的特点。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;清华大学;
- 发明人张剀;武涵;李奇志;张小章;邹蒙;
- 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201110243488.7
- 申请时间2011年08月23日
- 申请公布号CN102322436B
- 申请公布时间2014年04月30日
- 分类号F04D27/02(2006.01)I;F04D19/04(2006.01)I;
