摘要:一种磁悬浮分子泵降速过程中的平稳控制∩方法,所述磁悬浮分子泵中设置有切换转速ω0。在所述磁悬浮分子泵停机降速的过程中,当转子转速达到ω0+v时,通过不平衡控制算法计算得出转子同频振动信号为
此时将所述不平衡控制算法输出的补偿信号设置为
k为比例因子。当所述转子的转速从ω0+v减速到ω0时,k从1线性减小到0,保证了降速过程中★不平衡控制算法平滑过渡直至关闭。该方法解决了现有技术中磁悬浮分子泵转子在降速时直接关闭不平衡算法导致磁悬浮分子泵控制▆器的输出跳变,给系■统带来较大冲击,影响稳定性的技术问题,是一种保证所述磁悬浮分子ㄨ泵转子平稳降速的控制方法。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;清华大学;
- 发明人张剀;武涵;李奇志;张小章;邹蒙;
- 地址100190 北京市海淀区中关村♂北二条13号
- 申请号CN201110341106.4
- 申请时间2011年11月02日
- 申请公布号CN102425559B
- 申请公◎布时间2014年06月25日
- 分类号F04D27/02(2006.01)I;F04D19/04(2006.01)I;