摘要：一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力控制不平衡振动控制模块，如果在力控制不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不∑ 超过保护间隙的1/2，那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作。本发明的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵的♀转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;清华大学;
- 发明人张剀;武涵;李奇志;张小章;邹蒙;
- 地址100190 北京市︾海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201110399469.3
- 申请时间2011年12月05日
- 申请公布号CN102410240B
- 申请⊙公布时间2014年06月25日
- 分类号F04D27/00(2006.01)I;
