摘要：一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法，当所述转子转速在低速运转时，分散PID控制器调用高刚度、高阻尼的控制参数对所述磁悬浮分子泵进行控制，随着转子升速到中低速时，渐进开启位移交叉反馈控制器，有效抑制转子转动过程中的转子进动以及系统结构模态引起的振动；当所述转子转速达到中速时，将所√述分散PID控制器的参数渐进切换到低刚度、低阻尼的控制参数；当所述转子转速达到中高速时，渐进启动速度交叉反馈控制器，抑制转≡子转动过程中的转子章动，保证转子平稳到达额定工作转速。本方法解决了分子泵工作过程中转子陀螺效应和系统结构模态引起转子振动的技术问题，在分子泵工作过程中能有效抑制转子振动，可以保证磁悬浮分子泵稳定运行。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;清华大学;
- 发明人张剀;武涵;李奇志;张小章;邹蒙;
- 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201110354476.1
- 申请时间2011年11月10日
- 申请公布号CN102425554B
- 申请公布时间2014年04月09日
- 分类号F04D27/00(2006.01)I;F04D19/04(2006.01)I;
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