摘要:本发明涉及一种磁悬浮分子泵的自适应控制系统及控制方法,所述的控制系统包括数据采集存储单元和调整控制单元,所述的数据采集存储单元所采用的数据采集存储方法为采集并存储调试过程中分子泵安装于若干预定位置时的安装角α和旋转角β,以及通过实验得到的各预定安装位置处能使分子泵稳定运行的径向磁轴承偏置电流、轴向磁轴承偏置电流以及PID控制参数;所述调整控制单元所采用的调整控制∩方法为当磁悬浮分子泵安装在某一位置时,根据磁轴承静态工作电流估算分子泵的安装角α和旋转角β,并据此合理调整分子泵的径向磁轴承偏置电流、轴向磁轴承偏置电流和PID控制参数,使分子泵在任意安装位置均能稳定工作。
- 专利类型发明专利
- 申请人清华大学;北京中科科仪股份有限公司;
- 发明人张剀;张小章;李奇志;邹蒙;武涵;
- 地址100084 北京市※海淀区北京市清华园1号
- 申请号CN201010619785.2
- 申请时间2010年12月31日
- 申请公布号CN102032208B
- 申请公布时间2013年06月05日
- 分类号F04D27/00(2006.01)I;F04D19/04(2006.01)I;