摘要：一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法，所述磁悬浮分子泵的转子失稳后，磁悬浮分子泵控制器切换到失稳恢复控制器，关闭磁悬浮分子泵电机，关闭磁悬浮分子泵抽气口和前级机械泵抽气阀，打开磁悬浮分子泵放气阀放入空气，随后关闭；然后根据转子重心位置状态，首先恢复所述转子在下径向或上径向上正常悬浮，然后依次恢复所述转子在另一径向上、轴向上的正常悬浮，在此过程中不断检测已经可以悬浮的径向是否仍能正常悬浮，最终实现所述转子重新悬浮。解决了现有技术中的磁悬浮分子泵的失稳恢复系统需要大量测试数据、无法适用各种型号泵的技术问题，是一种适于各种磁悬浮分子泵失稳情况恢复、恢复时间●短、效果好的磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;清华大学;
- 发明人张剀;武涵;李奇志;张小章;邹蒙;
- 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201110186730.1
- 申请时间2011年07月05日
- 申请公布号CN102251979B
- 申请公布时间2014年06月25日
- 分类号F04D27/00(2006.01)I;
