摘要:发明公开了一种同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法,通过对磁悬浮分子泵转子跌落后产生的转子次临界振动信号进行同步采样获得转子次临界振动的幅值、频率和相位,并据此输出补偿力抑制转子次临界振动。该方法实现了对次临界振动信号的准确同步,可快速实现对所述转子次临界振动的抑制。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京◆中科科仪股份有限公司;清华大学;
- 发明人张剀;武涵;李奇志;张小章;邹蒙;
- 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201110407350.6
- 申请时间2011年12月08日
- 申请公布号CN102425563B
- 申请公布时间2014年03月12日
- 分类号F04D27/02(2006.01)I;F04D19/04(2006.01)I;