摘要：本实用新型公开【了一种半导体设备的微环境排气控制装置，将气动阀的气缸通过一开口部具有水平外延裙边的倒置ω 环形凹槽形气缸支撑体与一上集气盒连接，一下集气盒连通微环境，开有支排排ω气孔，上集气盒开有设备主排排气孔和气动阀阀体进入孔，上、下集气盒的连接面开有贯通的微环境的主排排气孔，阀体进入孔与微环境主排排气孔同心设置；气缸支撑体的凹槽裙边与上集气盒阀体进入孔¤的周围之间设有第一密封件，阀体下端面设有第二密封件，通过阀◣体在上集气盒内的上下移动，压紧二个密封件，实现有效密封，并具有阀体定位的】功能。本实用新型结构简单、成本低廉、维护省力，可防止泄漏的发生。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人刘红丽;王丽荣;宋新丰;
- 地址100016 北京市朝阳●区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201420013527.3
- 申请时间2014年01月09日
- 申请公布号CN203641568U
- 申请公布时间2014年06月11日
- 分类号F16K11/04(2006.01)I;F16K31/12(2006.01)I;
