摘要：本发明公开了一种半导体设备的微环境排气控制装置，将气动阀的气缸通过一开口部具有水平』外延裙边的倒置环形凹槽形气缸支撑体与一上集气盒连接，一下集气盒连通微环境，开有支排排气孔，上集气盒开有设备主排排气孔和气动阀阀体进入孔，上、下集气盒的连接面开有贯通的微环境的主排排气孔，阀体进入孔与微环境主排排气孔同心设置；气缸支撑体的凹槽裙边与上集气盒阀体进入孔的周围之间设有第一密封件，阀体下端面设有第二密封件，通过阀体在上集气盒内的上下ㄨ移动，压紧二个密封∏件，实现Ψ有效密封，并具有阀◎体定位的功能。本发明结构简↘单、成本低廉、维护省力，可防止泄漏的发生。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人刘红丽;王丽荣;宋新丰;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙「桥东路1号
- 申请号CN201410009304.4
- 申请时间2014年01月09日
- 申请公◣布号CN103711937A
- 申请公布时间2014年04月09日
- 分类号F16K11/04(2006.01)I;F16K31/12(2006.01)I;
