摘要：本实用新型公开了一种可扩展的反应腔室，涉及机械设计技术领域，所述〇反应腔室包括：前门板和后门板，所述●前门板和后门板之间设有至少一个模块化腔室。本实用新型通过在前门板、后门板和所述前门板和后门板之间设有的至少一个模块化腔室上设置法兰结构，使反应腔室能够扩展，实现了在不需重新设计反应腔室的情况下，提高设备生产率。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人彭文芳;李春雷;常青;克雷格·伯考;
- 地址100015 北京市朝阳区≡酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201220172713.2
- 申请时间2012年04月20日
- 申请公布号CN202610318U
- 申请公布时间2012年12月19日
- 分类号C23C16/44(2006.01)I;
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