摘要：本发明公开了一种基于流化床的纳米颗粒空间隔离原子层沉积设备及方法，其将待包覆的纳米颗粒放入粉体反应腔的中间部分中，粉体反应腔的中间部分在动力源的带动下作间歇性圆周运动，依次经过第一清洗区、吸附区、第二清洗区、反应区，在纳米颗粒表面形成一层包覆薄膜，循环运动以得到理想的膜厚。本发明能够实现在常压下纳米颗粒的快速包覆，具有包覆率高、包覆均匀性好、包覆效率高等优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人陈蓉;巴伟明;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201610361332.1
- 申请时间2016年05月26日
- 申请公布号CN105951058A
- 申请公布时间2016年09月21日
- 分类号C23C16/44(2006.01)I;C23C16/442(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;
