摘要：本发明公开一种PECVD镀膜装置，包括▂真空腔体和射频电源，真空腔体与射频电源之间设置连接装置，连接装置拆卸式固定在真空腔体外部，连接装置包括屏蔽套，在屏蔽套内设置绝缘套，绝缘套内设置引入电极，引入电极的一端伸入到真空腔体内，另一端与射频电源输出端连接的匹配器的匹配器♀入口接头可拆卸式连接。通过将连接装置设置在真空腔体外部，使得连接装置拆装方便，连接可靠，使引︼入电极与匹配器入口接头的接头设置在绝缘套和屏蔽套的内部密封腔体内，使得整个▲连接装置的绝缘和屏蔽效果好，无辐射污染，射频电源的传输过程中没有损失，进而↓电源输入稳定，提高膜层沉积的质量。
- 专利类型发明专利
- 申请人广东志成冠军集团有限公司;
- 发明人刘高水;陈宇;
- 地址523000 广东省东莞市塘厦镇田心工业区广东志成冠军集团有限公司
- 申请号CN201210544019.3
- 申请时间2012年12月14日
- 申请公布号CN103014660B
- 申请公布时间2015年06月10日
- 分类号C23C16/44(2006.01)I;
