摘要：本实用新型公开了一种基于新型传感器的流量调节系统，包括分流器，分流器的分流支路上设有流量传感器，流量传感器为MEMS流量传感器，MEMS流量传感器内设有温度检测单元。响应时间快☆、重复性好、成本低，当需要涉及气体单一、精度要求※低、气压要求低、响应时间快的情况时，可以大大降低成本、增大使用范围。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人吴薇;胡蕾;黄文填;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201120462769.7
- 申请时间2011年11月18日
- 申请公布号CN202404454U
- 申请公布时间2012年08月29日
- 分类号G05D7/06(2006.01)I;
