摘要：本发明♀公开了一种合流式气体流量控制装置，包括控制电路板、流量检测器、电磁阀模块；所述流量控制器通过气管与电磁阀模块的第一进气口相连；所述控制电路板通过导线与流量检测器和电磁阀模块相连；所述流量检测器的进气口进入待测气流，流量检测器将流量信号传给控制电路板；所述控制电路板向电磁阀模块发出控制信号；所述电磁阀模块在控制信号的作用下调整阀门角度，从而控制流过流量检测器的气流；本发明通过控制电路板、流量检测器、电磁阀模块的配合使用，能够降低产品成本，简化√加工工艺，减小流量变小对真空泵产生负荷，延长真空泵的使用⌒ 寿命；同时用于气体混合。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州宏瑞净化科技有限公司;
- 发明人左德庆;
- 地址215164 江苏省苏州市吴中区胥口镇胥江工业园新峰路409号
- 申请号CN201410311402.3
- 申请时间2014年07月02日
- 申请公布号CN104142695A
- 申ω 请公布时间2014年11月12日
- 分类号G05D7/06(2006.01)I;
