摘要：本发明公开了一⌒ 种内嵌式复合散热结构的三维集成功率系统及制备方法，它包括散热片（1），散热片（1）上方为高压大功率器件层（2），高压大功率器件层（2）上方为低压器件及传感器器件层（3），制备方法包括：步骤1、低压器件及传感器器件层（3）制作；步骤2、高压大功率器件层的制作及嵌入芯片层的散热通孔制作；步骤3、高压大功率器件层（2）芯片层堆叠；步骤4、将高压大功率器件层（2）堆叠在散热片（1）上后，将低压器件及传感器器件层（3）堆叠在高压大功率器件层（2）上，形成内嵌式复合散热结构的三维集成功率系统等，本发明解决了三维集成功率系统的散热问题，因此具有集成度高，功率容量更大等优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人贵州大学;
- 发明人傅兴华;林洁馨;马奎;杨发顺;
- 地址550025 贵州省贵阳市贵州大学花溪北校区科技处
- 申请号CN201510296250.9
- 申请时间2015年06月03日
- 申请公布号CN104966693B
- 申请公布时间2017年03月15日
- 分类号H01L21/768(2006.01)I;H01L21/77(2017.01)I;H01L25/065(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
