摘要：本发明提供一种机械手晶圆定心装置及方法，该装置包括：高速IO采集电路，用于采集AWC传感器信号，生成高速IO信号；FPGA模块，用于将高速IO信号线与成串行中∑ 断信号，输出给嵌入式CPU模块；该FPGA模块还用于将嵌入式CPU模块的地址数据转换成对驱动器的控制信号输∮出，以纠正机械手的位置；嵌入式CPU模块，用于接收高速IO信号并锁存伺服轴位置值♀，并根据伺服轴位置值计算出机械手传输晶圆︾过程中实际中心与示教中心的偏位，通过地址数据输出控制指令。本发明提供的机械手晶圆定心装置及方法集成多组高速IO信号采集电路，结构紧凑、故障点少、采集电路可灵活配置。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人褚明杰;曲道奎;徐方;刘世昌;邹风山;杨奇峰;
- 地址110168 辽宁省沈阳市△浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201310566847.1
- 申请时间2013年11月13日
- 申请公布号CN104626151B
- 申请公布时间2016年06月29日
- 分类号B25J9/18(2006.01)I;
