摘要：本发明涉及一种晶圆传送机器人手臂机构，具体的说是指应用在晶圆传送机器人上的手臂机构。该机构由底座、大臂、导引臂、次大臂、小臂、末端执行器六部分组成，导引臂与末端执行器固连，大臂与底座、次大臂与底座、大臂与导引臂、小臂与导引臂、次大臂与小臂之间通过转动轴连接，形成一个平面五杆并联驱动机构。大臂和次大臂分别由两台伺【服电机驱动，两电机只需满足一定的运动关系，即可实现末端执行器的法兰盘中心在其工作空间内的任意直线运动。本发明〖综合了SCARA型与蛙腿型两种『手臂机构的优点，该手∑ 臂机构不包含同步带、齿轮、钢带等易磨、易损传动件，因此具有较高的洁净度和可靠性，可应用于半导体行业中的晶圆传送机器人。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人曲道奎;王凤利;王金涛;徐方;
- 地址110168 辽宁省沈阳♀市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201010563828.X
- 申请时间2010年11月26日
- 申请公布◤号CN102476749A
- 申请公布时间2012年05月30日
- 分类号B65G49/07(2006.01)I;B25J9/08(2006.01)I;B25J13/00(2006.01)I;
