摘要：本发明涉及一种热处理设备的炉门控制机构，属于半导体卧式热处理设备技术领域，通过设置动力驱动装置、传动装置以及控制单元，利用花键轴套以及花键轴承之间的传动作用，实现带动炉门旋转与升降的功能。本发明提供的炉门控制机构，可灵活控制炉门的动作，操作方便，密封性能好，避免了热处理设备大量散热以及热辐射的问题，节约了成本，进而提高了半导体卧式热处理设备的工艺效率和机构的可靠性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人贺小平;桂晓波;王广明;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201510010056.X
- 申请时间2015年01月08日
- 申请公布号CN104596314A
- 申请公布时间2015年05月06日
- 分类号F27D19/00(2006.01)I;F27D1/18(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
