摘要：本发明涉及半导体工艺热处理领域，尤其是涉及一种炉体排风控制装置，包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动，从而执行对风口结构单元的开启和关闭动作。本发明对炉体排风的开关机构进行有效控制，使炉体排风控制可靠安全；同时能够有效阻挡炉体热量的逸出，具有良好的隔热效果；本发明的炉体排风控制装置结构简单，能够进行精确运作，且成本较低。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人孙少东;董金卫;赵燕平;钟华;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201210365936.5
- 申请时间2012年09月27日
- 申请公≡布号CN102889791A
- 申请公布时间2013年01月23日
- 分类号F27D19/00(2006.01)I;
