摘要:本发明公开了一种快速升降←温炉体,其包括包围工艺管的筒状的保温层,配置于所述保温层内周面的加热元件,以及冷却单元。其中冷却单元包括:位于所述保温层中的用于流通冷却气体的一个螺旋状风道;以及形成于所述保温层内周面、与所述螺旋状风道连通并沿所述螺旋状风道高度方向分布的多个风孔,所述风孔用于向所述保温层和所述工艺管之间的空间喷出所述冷却气体。本发明可提①高炉体的风冷效率。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人孙少东;徐冬;周厉颖;董金卫;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥→东路1号
- 申请号CN201410058383.8
- 申请时间2014年02月20日
- 申请公布号CN103773923B
- 申请公布▲时间2015年11月25日
- 分类号C21D1/00(2006.01)I;