摘要：本发明属于镀膜技术领域，具体地说是一种可自锁的基片挡板组件。包括大基╱板挡板、中间轴、主动轴及驱动机构，其中大基板挡板和中间轴设置于真空腔体内，所述大基板挡板设置于中间轴的上端，中间轴的下端端部为斜面I，所述主动轴的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴下端端〓部的斜面I相对应的斜面II、并插入真空腔体内，所述主动轴与真空腔体下端的真空室大法兰转动连接，主动轴的另一端上套设有套筒，所述中间轴的下端端部的斜面I插入所述☉套筒内、并与主动轴另一端的斜面II相配合；所述主Ψ动轴通过驱动机构驱动旋转、并通过摩擦传递带动中间轴旋转，中间轴和主动轴通过摩擦角︽实现自锁。本发明把基片挡板组件的中间轴和下面主动轴通过摩擦传递转动，可实现有效∩自锁。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科№学仪器股份有限公司;
- 发明人郭东民;刘丽华;冯彬;孙影;佟雷;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区新☆源街一号
- 申请号CN201210590798.0
- 申请时间2012年12月29日
- 申请公布号CN103045994A
- 申请公布时间2013年04月17日
- 分类号C23C14/00(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;
