摘要：一种真空镀膜机的光栅阀控制装置，包括电气控制系统、步进电机和光电限位机构，步进电机和光电限位机构均与电气控制系统电气连接，通过电气控制系统控制步进电机和光电限位机构动作，所述步进电机的电机轴通过连接轴与光栅阀的主轴相连♂接，所述光电限位机构由两个光电感应器和固定安装在所述连接轴上的遮光盘构成，所述遮光盘上开有透光窄缝，它随连接轴转动，所述的两个光电感应器以相互垂直方式安装，分别对「应光栅阀全开和全闭状态。这种光栅阀控制装置控制精度高，可以㊣ 精确重复真空镀膜工艺参数以保证镀膜质量，并且可以实现自动化控制光栅阀开启角度。
- 专利类型实用新型
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人李志荣;李志方;罗志明;李秋霞;
- 地址523820 广东省东莞市大岭山镇颜∞屋村第四工业区
- 申请号CN201020525409.2
- 申请时间2010年09月09日
- 申请公布号CN201801574U
- 申请公布时间2011年04月20日
- 分类号C23C14/00(2006.01)I;F16K31/04(2006.01)I;
