摘要：本发明公开了一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门，包括由上阀体和下阀体组成的阀体，所述的上阀体和下阀体之间设有阀盖和开孔的阀座板连通或关闭上阀体和下阀体，所述的上阀体和下阀体两者处于同一水平，所述的阀座板45度倾斜设置，所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上。本发明通过将上、下阀体水平设置和把原来阀盖相对阀座板垂直上、下升降运动改成阀盖相对阀座板翻转45度开合运动，大大降低了高真空阀门的高度，从而可大大降低设备的整体高度，解决了现有技术中大型镀膜设备对厂房高度的要求较高的问题，使其能适应普遍的楼层的高度，大大提高了大型镀膜设备〖的适应性。
- 专利类型发明专利
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人李志荣;李志方;罗志明;李秋霞;
- 地址523838 广东省东莞市大岭山颜屋村第四工业区
- 申请号CN201210040238.8
- 申请时间2012年02月22日
- 申请公布号CN102588618B
- 申请公布时间2013年08月14日
- 分类号F16K1/20(2006.01)I;F16K31/12(2006.01)I;F16K51/02(2006.01)I;
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