摘要：本发明公开一种刀具表面多元复合硬质薄膜的制备方法，涂层材料为高纯度的Ti、Cr、AL金属和N2、Ar，在非平衡磁控溅射离子镀设备内，在电磁场和等离子场的作用下，Ti、Cr、AL、Ar和N2电离成离子，在电场作用下在刀具表面反应生成TiN/AlN/CrN的多元多层复合膜；Ti、Cr、AL金属在非平衡磁控溅射离子镀设备内按一定规律排列，刀具随着非平衡磁控溅射离子镀设备的工件架一起转动，制备出TiN/AlN/CrN的多元多层复合膜。与现有★技术相比，本发明提』供的刀具表面多元复合硬质薄膜的制备方法，多元多层TiN/AlN/CrN复合膜涂层可根据不同切削条件，随时调整膜层的成分、厚度和膜层过渡ζ 层，涂层刀具的通用性更好，且多元多层复合膜涂层在生Ψ产过程中无废㊣ 水废气，对环境↙无污染，环境效【益高。
- 专利类型发明专利
- 申请人西华大学;
- 发明人赵广彬;孙爱祥;葛高峰;杨鸿;
- 地址610039 四川省成都市金牛区土桥金周路999号
- 申请号CN201110348517.6
- 申请时间2011年11月07日
- 申请「公布号CN102337500A
- 申〓请公布时间2012年02月01日
- 分类号C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;
