摘要：本发明公开了一种透明导电膜的制备方法。该制备方法在透明基板上以物理气相沉积方式沉积由至少一层高折射率透明导电膜和至少一层低折射率透明导电ξ 膜交替组成的多层膜。本发明利用高折射率膜和低折射率膜交替的多层膜来提高透明导电膜的可见光透过率。同时多层的透明导电膜可具有较厚的厚度，在透明导电膜具有较高电阻率的情况下依然可以有较低的方块电阻。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京东方新材科技有限公司;
- 发明人张云龙;徐健;程云立;承高建;
- 地址100085北京市海淀区上地信息产业基地三街九号金隅大厦C座1112室
- 申请号CN200810119981.6
- 申请时间2008年10月21日
- 申请公布号CN101429640A
- 申请公布时间2009年05月13日
- 分类号C23C14/06(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;G06F3/041(2006.01)I;G02F1/133(2006.01)I;
