摘要：本发明公开了一种用于工模具领域的纳米多层镀膜装置，其包括：真空室；圆筒形隔板支撑架，设有开口；至少四个隔板，安装于圆筒形隔板支撑架上且将真空室分隔成至少四个隔离室；中心抽气管，设有开口，设置于所述圆筒形隔板支撑架中；至少两个蒸发装置与至少一个离子源，设置于所述真空室的壁上；至少四个工件架，每个工件架分别安装于独立的所述隔离室中，所述工件架、圆筒形隔板支撑架和隔板可绕同一公转轴同步旋转；磁流体密封同心多轴传动装置；抽气口。本装置能沉积纳米多层膜并能对膜层成分和厚度进行调制，形成的多层膜中每一膜层成分单一，不同膜层之间能形成清晰尖锐的界面。本发明用于工模具及其他零部件的表面强化。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京东方新材科技有限公司;
- 发明人徐健;程云立;张云龙;
- 地址100096北京市昌平区回龙观镇制版厂北区
- 申请号CN200510083078.5
- 申请时间2005年07月14日
- 申请公布号CN100398691C
- 申请公布时间2008年07月02日
- 分类号C23C14/22(2006.01);C23C14/24(2006.01);C23C14/50(2006.01);C23C14/35(2006.01);
