摘要:本发明公开了一种与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层及制备方法,属于表面⌒ 工程技术领域。该多层涂层在工具表面上由内而外一共有四层,依次是Ti结合层(2)、TiN梯度结构层(3)、AlTiCrN支撑层(4)和AlTiCrN/MoN功能层(5);是通过工具基体(1)前处理和加热;等离子清洗;蒸镀Ti结合层(2);蒸镀TiN梯度结构层(3);溅射沉积AlTiCrN支撑层(4)和AlTiCrN/MoN功能层(5)得到的。本发明的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层与工具表面结合良好,同时具有良好的耐磨性,方法可控性好,易于实施,具有很好的工业应用前景。
- 专利类型发明专利
- 申请人四川大学;
- 发明人赵海波;鲜广;梁红樱;梁雅庭;杜昊;王辉;
- 地址610065 四川省成都市武侯区一环路南一段24号
- 申请号CN201410053656.X
- 申请时间2014年02月17日
- 申请公布号CN103789726B
- 申请公布时间2016年06月08日
- 分类号C23C14/06(2006.01)I;