摘要：本发明公开了一种非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层及其制备方法，涉及切削刀具表面涂层技术领域。非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层ㄨ中Cr、Al、C和N各元素的原子百分含量可变化，并且C元素的原子百□ 分含量为10～30at.％，涂层的厚度为500～3000nm。其制备方法包括：将基体清洗干燥后放入真空镀膜室，并在氩气保护气氛下进行加热；经氩离子进行溅○射刻蚀；使用CrAl合金靶和石墨靶作为沉积靶材，N2作为反应气体，在氩气与氮气的混合气氛下采々用非平衡磁控溅射技术将所述CrAl(C,N)涂层沉积于◥基体表面。该非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层，具有较高≡的硬模比，同时硬度在25GPa以上，保证了←涂层具有较高的耐磨性能。
- 专利类型发明专利
- 申请人四川大学;
- 发明人赵海波;鲜广;郭盛;杜昊;梁红櫻;梁雅庭;
- 地址610065 四川省成都市一环路南一段24号
- 申请号CN201410808765.8
- 申请时间2014年12月22日
- 申请公布】号CN104532185B
- 申请№公布时间2017年02月22日
- 分类号C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
