摘要：本实用新型涉及硅片湿法处理领域，具体◆公开了一种过滤装置，其包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接●件连接，排液口接头的一端连接排液口接头连接件，其另一端外接切换阀，过滤件设置在进液口接头连接件和排液口接头连接件之间。本实用新型通过过滤件将碎屑过滤掉，从而减少了碎屑对阀体的损害，在碎∏片后做维修时，只需对过滤装置进行维修、清理或更㊣ 换，而不需要对过滤装置之后的阀做维修，这样降低了维修时间和维修成本，提高了阀的△使用寿命。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王波雷;张豹;贾星杰;高浩;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201220602640.6
- 申请时间2012年11月14日
- 申请公布号CN203002085U
- 申ζ 请公布时间2013年06月19日
- 分类号B01D35/02(2006.01)I;B01D29/03(2006.01)I;
