摘要：一种冷却装置，设置在分子泵的泵体上，用于冷却所述泵体及所述泵体内的腔室；所述冷却装置包括冷却管，所述冷却管的两端分别与所述泵体上预『置的入口和出口配合，用于通入冷却介质；并且所述冷却管盘设于所述泵体内的同一水平面上。本实用新型提供的冷却装∮置可靠性高且容易装配。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;
- 发明人邹蒙;陈智勇;
- 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201220420696.X
- 申请时间2012年08月23日
- 申请公布号CN202851468U
- 申请公布时间2013年04月03日
- 分类号F04D29/58(2006.01)I;
