摘要：本实○用新型公开了一种液体回流管，包括：依次连接的气体缓冲罐(7)、连接管(5)和中空管(2)，所述中空〗管(2)上设有若干进液接头(3)，可使液体顺利排出，不产生液体飞溅，避免对硅片二次污染。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电♀子股份有限公司;
- 发明人昝威;裴立坤;何金群;王锐廷;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201020629853.9
- 申请时间2010年11月23日
- 申请公布号CN201954184U
- 申请↓公布时间2011年08月31日
- 分类号F16L55/02(2006.01)I;
