摘要：发明涉及半导体激光器技术领域，提出了一种光栅↑辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器。该激光器的谐振腔腔体为支持回音壁模式的∞微柱腔。微柱腔从上往下包括欧姆接触层、光栅层、上盖层、有源区以及下盖层。光栅层上设的光栅位于微柱腔顶部外沿边，为二※阶光栅；有源区采用张应变的量子阱材料，使激光器的工作模式为TM模式；微柱腔的外径最小可为激光器激射波长量级，因此可实现超高Ψ速调制。另外该激光器制作简便，只需要一次浅刻★蚀二阶光栅就可以实现激光器的△选模和输出。本发明具有体积小、检测方便、低成本、易于〓集成二维阵列、单模工作、阈ζ 值电流低、输出光易于与光纤耦合、可以在不同的材料体系上实现、制作简单等诸多◇优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人国伟华;马向;陆巧银;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山▓区珞喻路1037号
- 申请号CN201610864498.5
- 申请时间2016年09月29日
- 申请公布号CN106329313A
- 申请公※布时间2017年01月11日
- 分类号H01S5/183(2006.01)I;
