摘要：发明涉及半导体激光器技术领域，提出了一种光栅辅助的微柱腔面发射激光器。该激光器的谐振腔腔体为微柱，以支←持回音壁模式。微柱从上往下主要包括欧姆接触层、光栅层、上盖层、有源区以及下盖层。输出光栅位于光栅层靠近微柱外侧边的位置，欧姆接触层下方特定区域¤被制成高阻区，使得电流注入区域与回音壁模式的分布重合，提高激光√器的注入效率。微柱腔外侧面刻蚀光栅或缺陷能选出特定的回音壁模式成为激光器的激射模式，然后通过顶上的输↘出光栅形成所选模式的垂直输出，实现单模的垂直输出面发射激光器。本发→明具有体积小、检测方便、低成本、易于集成二维阵列、单模工作、输出＠光易于与光纤耦合、可以在不同的材料体系上实现等诸多优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技♀大学;
- 发明人国伟华;马向;陆巧银;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201610031840.3
- 申请时间2016年01月18日
- 申请公『布号CN105591284A
- 申请公布时间2016年05月18日
- 分类号H01S5/183(2006.01)I;
