摘要：本发明公开了一种电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。器件主要包括箱体1、盖板7以及容纳于箱体1、盖板7之内的第一可动镜面支撑2、第二可动镜面支撑4、第一反射镜13、第二反射镜11、第一多层线圈16、第二多层线圈6。本发明提出的基▃于PCB的电磁驱动双向调谐珐珀滤波器具有大的可调谐范围，能大幅度增加器∞件的工作波段，大幅度减小珐珀滤波器的整体尺寸。通过调节不同子多层线圈内电流的大小和方向可以微调器件的可动部分，从而克服加工☉及装配误差，保持上下两镜面平行；同时，其制Ψ作工艺采用3D打印、标准PCB加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北工业大学;
- 发明人虞益挺;李浩勇;朱全发;
- 地址710072 陕西省西安市友谊西路127号
- 申请号CN201610065383.X
- 申请时间2016年01月30日
- 申请公布号CN105549199A
- 申请公◣布时间2016年05月04日
- 分类号G02B26/08(2006.01)I;G02B26/00(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I;
