摘要：本发明公开了一种电磁—静电混合驱动二维微扫描镜及制作方法，属于微光机电系统(MOEMS)器件领域。该器件主要由中心镜面1、支撑镜面外框架2、静电驱动组件3、电磁驱动组件4组成。其中，中心镜』面采用基于洛仑兹力的电磁驱动，支撑镜面■外框架采用基于垂直梳齿的静电驱动，其优势在于：电磁驱动所用的线圈可通过刻蚀、剥离、电镀等︻工艺手段获得，与IC工艺兼容；支撑镜面外框架采用基于垂直梳齿的静电驱动，相比于中心镜面采用静电驱动，动静梳齿间的电隔离可直接通过刻蚀出隔离槽实现，省略了隔离沟槽填充工艺，大大简化了▲制作工艺。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北工业大学;
- 发明人苑伟政;王军平;虞益挺;乔大勇;孟庆超;宋秀敏;郭向楠;
- 地址710072 陕西省西安市友谊西路127号
- 申请号CN201510125181.5
- 申请时间2015年03月20日
- 申请公布号CN104765144B
- 申请公布时间2017年01月25日
- 分类号G02B26/08(2006.01)I;G02B26/10(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;
