摘要:本发明公开了一种电磁—静电混合驱动二维微扫描镜及制作方法,属于微光∑ 机电系统(MOEMS)器件领域。该器件主要由中心镜面1、支撑镜面外框架2、静电驱动组件3、电磁驱动组件4组成。其中,中心〖镜面采用基于洛仑兹力的电磁驱动,支撑镜面外框架采用基于垂直梳齿的静电驱动,其优势在♀于:电磁驱动所用的线圈可通过刻蚀、剥离、电镀等工艺手段获得,与IC工艺兼容;支撑镜面外框架采用基于垂直梳齿的静电驱动,相比于中心镜面采用静电々驱动,动静梳齿间的电隔离可直接通过刻蚀出隔离槽实█现,省略了隔离沟槽填充工艺,大大简化了制作工艺。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北工业大学;
- 发明人苑伟政;王军平;虞益挺;乔大勇;孟庆超;宋秀敏;郭向楠;
- 地址710072 陕西省西安≡市友谊西路127号
- 申请号CN201510125181.5
- 申请时间2015年03月20日
- 申请公布号CN104765144A
- 申请←公布时间2015年07月08日
- 分类号G02B26/08(2006.01)I;G02B26/10(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;