摘要：本发明公开了两种(基于刚性支撑底座与薄膜支撑底座)电磁驱动可调谐珐珀滤波器及其制作方法，该新型的滤波器结构采用磁粉填充的』嵌入式薄膜制造技术，与其他硅微加工技术具有良好的工艺兼容性，避免传统贴片式薄膜工艺人工操作带来的操作误差，从而提高了器件的工作稳定性及加工成品率；同时，具有比静电驱动大的多、且工艺可调的空气间隙，能大幅度提高器件的可滤波长范围；再者，电磁驱动具有良好的线性响应特性，为后续驱动电路研制提供了极大便利，控制精度得到提高。本发明将促进MEMS微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的♀应用。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北工业◣大学;
- 发明人虞益挺;苑伟政;周泽宇;
- 地址710072 陕西省西安↑市友谊西路127号
- 申请号CN201510546583.2
- 申请时间2015年08月31日
- 申请公↓布号CN105242395A
- 申请公布时间2016年01月13日
- 分类号G02B26/08(2006.01)I;G02B6/293(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I;
