摘要：本发明涉及激光加工技术领域，公开了一种双焦点激光微加工装置及其加工方法。加工装置包括激光器、第一45度反射镜、第一半波片、第三45度反射镜和聚焦镜，设于第一半波片的输出光路上用于将激光光←束分割为水平偏振光束P和垂直偏振光束S的第一偏振片，分别设于水平偏振光路和垂直偏振光路上的水平光路装置和垂直光路装置，设于水平光路装置输出端和垂直光路装置输出端的第二偏振片，水平偏振光束P依次经水平偏振光路、第二偏振片、第三45度反射镜和聚焦镜后于被√加工物上形成⊙第一焦点，垂直偏振光束S依次经垂直偏振光路、第二偏振片、第三45度反射镜和聚焦镜后于被加工物上形成第二焦点。本发明具有加工效率高、效果佳●的优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人大族激光科技产业集团股份有限公司;
- 发明人王焱华;庄昌辉;陈红;陈治贤;唐建刚;尹建刚;高云峰;
- 地址518000 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号
- 申请号CN201410284055.X
- 申请时间2014年06月23日
- 申请公布号CN105171235A
- 申请公布时间2015年12月23日
- 分类号B23K26/064(2014.01)I;B23K26/067(2006.01)I;B23K26/50(2014.01)I;
