摘要：本发明提供一种】紫外激光变倍扩束镜，其包括沿入射光线传输方向设置的第一透镜，第二透镜，以及第三透镜，其中所述的第一透镜L1为凸平型正透镜，第二透镜L2为双凹型负透镜，第三透镜L3为凸型正透镜，该紫外激光变倍扩束镜能□允许的最大入光直径Φ＝2?8mm，波长λ＝355nm。本发明的紫外激光变倍扩束镜整体结构非常□ 紧凑，利用该变倍扩束镜，可使得激光聚◣焦系统得到较大的像方孔径角，而极大地提高激光聚焦时焦点处的能量密度，并且提高激光∩的加工效率，由于激光光束的扩束倍数可以随时进行调节，可以针对不同激◤光器输出的不同激光参数而使用同一☆种光学应用系统进行加工。
- 专利类型发明专利
- 申请人大族激光科技产业集团股份有限公司;
- 发明人李家英;周朝明;高云峰;
- 地址518000 广东省◣深圳市南山区深南大道9988号
- 申请号CN201010207739.1
- 申请时间2010年06月22日
- 申请公布号CN101887173B
- 申请公布时间2016年08月03日
- 分类号G02B27/09(2006.01)I;
