摘要：本发明涉及一种转动机构，提供一种高频转动机构，包括夹具体及设于夹具体上且共轴线的两旋转部；夹具体包括相对设置的第一、第二夹具，各旋转部均包括固定于第一夹具上的第一陶瓷支撑杯、设于第二夹具上且在一动力元件带动下可转动的第二陶瓷支撑杯以及夹设于第一、第二陶瓷支撑杯之间且可随第二陶瓷支撑杯转动的陶瓷珠。本发明中，利用共轴线的两旋转部形成转动机构，结构简单；采用陶瓷材料，一方面借助陶瓷材料表面的光滑度，减少转动阻力，实现高速转【动；另一方面，陶瓷材料具有优异的表面硬度，具有很高的重复运动精度；同时，陶瓷材料具有绝↓缘性及较高的热稳定性，能够保证在较宽的温度区间内，该转动机构仍〖然具有高可靠性和运动一致性。
- 专利类型发明专利
- 申请人大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司;深圳市大族光电设备有限公司;
- 发明人胡晶;高云峰;
- 地址518000 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号
- 申请号CN201110437652.8
- 申请时间2011年12月23日
- 申请公布号CN103177978B
- 申请公布时间2015年11月18日
- 分类号H01L21/60(2006.01)I;
