摘要：本发明涉及大理石高精密运动平台，X轴直线导轨和X轴直线电机安装于X轴大理石底座上，X轴连接板置于X轴直线导轨上，X轴直线电机与X轴连接板驱①动连接，控制X轴连接板沿X轴直线导轨运动；Y轴直线导轨和Y轴直线电机安装于Y轴大理石底座上，Y轴连接板置于Y轴直线导轨上，Y轴直线电机与Y轴连接板驱动连接，控制Y轴连接板沿Y轴直线导轨运动；Y轴大理石底座连接于X轴连接板上，Y轴直↙线导轨与X轴直线导轨呈90度夹角；石英载台安装于旋转DD马达上，旋转DD马达安装于Y轴连接板上。运动安静、噪音低，X-Y轴ω 平台可拆分，配对方便，达到模块化设计要求。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司;
- 发明人赵裕兴;李军;
- 地址215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
- 申请号CN201410660405.8
- 申请时间2014年11月19日
- 申请公布号CN104362228A
- 申请公布【时间2015年02月18日
- 分类号H01L33/00(2010.01)I;H01L21/78(2006.01)I;
