摘要：本发明涉及紫外激光打孔的装置，紫外调Q固体激光器的输出端设置扩束镜，扩束镜的输出端依次布置有第一反射镜和第二反射镜，第二反射镜的输出端布置有光束整形器，光束整形器的输出端布置有扫描振镜，扫描振镜的输出端连接有聚焦镜，聚焦镜的下方布置有三维移动平台；紫外调Q固体激光器发出的光束射入扩束镜，扩束镜输出准直的光束，准直的光束经第一反射镜和第二反射镜后进入光束整形器，经整形的光束经扫描振镜后进入聚焦镜，在焦点处获得能量分布为平顶分布的聚焦光斑；聚焦后的光束焦点位于三维移动平台的加工工件上。紫外激光与材料作用时，通过打断材料的化学键使分子剥离，极大地减小热影响区域，获得很好的边缘加工效果。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州德龙激光有限公司;江阴德力激光设备有限公司;
- 发明人赵裕兴;汪昊;
- 地址215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
- 申请号CN201110128581.3
- 申请时间2011年05月18日
- 申请公布号CN102218606A
- 申请公布时间2011年10月19日
- 分类号B23K26/38(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;
