摘要：本发明涉及一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上导电膜层的装置，所述装置包含有激光刻蚀设备，所述激光刻蚀设备包含有激光器（1）、光闸（2）、1/2波片（3）、格兰棱镜（4）、扩束镜（5）、全反镜片（6）、振镜系统（7）和远心场镜（8），所述激光器（1）发出的激光依次经光闸（2）、1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后射入扩束镜（5）对光束进行同轴扩束，经扩束镜（5）扩束准直后的激光到达全反镜片（6），经全反镜片（6）反射后的激光射入振镜系统（7），射出振镜系统（7）的激光经远心场镜（8）后聚焦到被吸附于真空吸附平台（13）上的待加工件（12）上。本发明一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上导电膜层的装置，加工简单、效率高且无需耗材。
- 专利类型发明专利
- 申请人江阴德力激光设备有限公司;
- 发明人赵裕兴;狄建科;张伟;益凯劼;张子国;蔡仲云;闫华;
- 地址214434 江苏省无锡市江阴市城东街道金山路201号数码港C座1楼
- 申请号CN201210185861.2
- 申请时间2012年06月07日
- 申请公布号CN102717190A
- 申请公布时间2012年10月10日
- 分类号B23K26/36(2006.01)I;B23K26/06(2006.01)I;B23K26/16(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;
