摘要：本发明涉及应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台，包括X-Y轴和θ轴，X-Y轴和θ轴均呈中空结构，X-Y轴包含X轴传送单元〗和Y轴传送单元，X轴传送单元包含X轴板和控∮制X轴板运动的直线马达，Y轴传送单元包含Y轴板和控制Y轴板运动的直线马达，Y轴传送︻单元安装于X轴传送单元的X轴板上，在Y轴传送单元的Y轴板上设置〇θ轴，θ轴包括转轴和控制转轴旋转的电机，在θ轴的转轴中安装真空吸附模块，真空吸附模块的吸附平面高于θ轴转轴的表面，X-Y轴布置在底板上。应用于LED激光切割设备中X-Y-θ运动平台实现了自身惯量小、启动和停▽止时间短、微米级定位、切割道秒级角度调整功能，满足晶圆切割量产的要求。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州德龙激光有限公司;江阴德力激光设备有限公司;
- 发明人赵裕兴;胡剑;
- 地址215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
- 申请号CN200910031353.7
- 申请时间2009年04月30日
- 申请公布号CN101570040B
- 申请公布时间2012年04月25日
- 分类号B23Q1/25(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I;
