摘要：本发明提供一种用于刻蚀触摸屏上不可视区域导电薄膜的装置及方法，高频率短脉冲激光器的输出端布置有光闸，光闸的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端依次布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端依次布置有动态聚焦镜和扫描场镜，扫描场镜正对于工作平台，工╱作平台的一侧安装有吹气装置，工作平台的另一侧安装有集尘装置。采用优化的光路聚焦系统和高频率的脉冲激光器，对不可视区域导电薄膜材料进行蚀刻，得到较细较稳定的Ψ线宽，且不损伤基∑ 底。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州德龙激光有限公司;江阴德力激光设备有△限公司;
- 发明人赵裕兴;狄建科;张伟;
- 地址215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
- 申请号CN201110128553.1
- 申请时间2011年05月18日
- 申请公布号CN102218608A
- 申︼请公布时间2011年10月19日
- 分类号B23K26/40(2006.01)I;
